產(chǎn)品介紹

FEI掃描電鏡Prisma E SEM是一款高度靈活的掃描電子顯微鏡(SEM)，在各種條件下都能有出色的全能性能?；谄涞驼婵蘸铜h(huán)境掃描的SEM (ESEM)模式，它*具備分析不導(dǎo)電，含氣體、水分或其它非常規(guī)測試的樣品。Prisma E SEM的高度靈活性、便捷使用性以及對(duì)樣品的寬泛適用性，是多用戶實(shí)驗(yàn)室的理想選擇。

發(fā)射源：鎢燈絲（高性能電子光學(xué)鏡筒，雙陽極熱發(fā)射電子槍）

分辨率：

高真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）

低真空成像 3.0nm@ 30kV（SE）；4.0 nm@ 3kV（BSE）；10nm@ 3kV（SE）

環(huán)境掃描模式成像 3.0nm@ 30kV（SE）

放大倍數(shù)：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）

加速電壓范圍：200V ~ 30kV

探針電流范圍：可高達(dá)到2μA，連續(xù)可調(diào)；

低真空范圍：高達(dá)130Pa；

ESEM真空范圍：高達(dá)2600Pa（H2O）/4000Pa（N2）；

X-Ray工作距離：10mm，EDS檢出角35°

樣品室：從左至右為340mm寬的大存儲(chǔ)空間，樣品室可拓展接口數(shù)量12個(gè)，含能譜儀接口3個(gè)（其中2個(gè)處于180°對(duì)角位置）

樣品臺(tái)：五軸優(yōu)中心全自動(dòng)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)

X=110 mm,Y=110 mm,Z=65 mm,T=-15º~90º,R=360º （連續(xù)旋轉(zhuǎn)）

多用途SEM樣品安裝載物臺(tái)，可同時(shí)放置 18 個(gè)標(biāo)準(zhǔn)樣品座（φ12mm）

大樣品高度不低于200mm

大樣品承重 5 kg

探測器系統(tǒng)：

高真空二次電子探測器ETD

樣品室內(nèi)IR紅外相機(jī)CCD

低真空二次電子探測器LVD

氣體二次電子探測器GSED（環(huán)境真空）

控制系統(tǒng)：

操作系統(tǒng)：Windows 10

圖像顯示：24寸LCD顯示器，顯示分辨率1920×1200

支持用戶自定義的GUI，可同時(shí)實(shí)時(shí)顯示4幅圖像

軟件支持Undo和Redo功能

FEI掃描電鏡(SEM)特點(diǎn)與用途：

☆ 方便快捷的加載多種樣品和重樣品；

☆ 基于Thermo ScientificTM Nav-CamTM相機(jī)和蒙太奇導(dǎo)航功能簡化樣品導(dǎo)航；

☆ 便捷性的用戶指南和撤消功能；

☆ 先進(jìn)的掃描模式和電子束減速確保圖像質(zhì)量；

☆ Thermo ScientificTM ColorSEMTM技術(shù)下進(jìn)行直觀的元素分析；

☆ 真空模式，具備強(qiáng)大的樣品兼容性；

☆ *的環(huán)境掃描模式能夠在材料的自然狀態(tài)下成像；

☆ 可集成冷/熱臺(tái)進(jìn)行易于控制的動(dòng)態(tài)實(shí)驗(yàn)；

☆ 廣泛選擇的探測器和附件，包括掃描透射電 (STEM)，陰極發(fā)光，圖像拼接等